真空泵浦最重要的性能規格為終極壓力( Ultimate Pressure) 以及排氣速度( Pumping Speed) 。終極壓力指真空泵可抽到的最低壓力或稱最高真空( Max. Vacuum)； 排氣速度則是指單位時間內泵浦進氣口的容積流量大小，通常以m3/hr 或L/ min表示，而排氣速度之大小會影響真空系統到達指定真空度所需要的時間。
真空泵浦依真空度來區分可分為低真空泵浦、中真空泵浦、高真空泵浦)以及超高真空泵浦。由於氣體在低真空時屬黏滯流(Viscous Flow)，氣體的物理行為可視為連續(Continuum) ，真空泵浦可利用機械容積變化進行吸氣、壓縮及排氣的方式抽氣；當氣體於中真空環境時，氣體行為變為過渡流(Transition Flow)形態，其特性較為複雜。 

真空度的壓力單位以托耳( Torr ) 以及國際壓力單位，帕Pascal (Pa) 最為常見定義為：標準大氣